现阶段，真空泵领域应用的大部分机械设备真空泵全是用
爱发科真空泵油、水或其他高聚物等液体当做泵的工作中介质，在泵内起制冷、密封性、润化等各种功效。
伴随着科技的发展趋势及其真空泵主要用途的扩张，原来的机械设备真空泵以及构成的抽真空系统软件发生了迫切问题：一是泵的工作中介质反流环境污染被抽器皿；次之，因为一些工艺全过程中的反映成分使真空泵内的介质比较严重霉变，使泵无法正常的工作中。
针对一般的无油超滤装置爱发科真空泵油而言，尽管可以用骨架密封式真空泵再加上冷阱或吸咐阱这类配件来避免反流，但不可以解决问题，并且使系统软件看起来繁杂。而应用适度形式的干试机械设备真空泵，则可以实现梦想的应用实际效果。
爱发科真空泵油的运用是普遍的，关键有下面一些层面：
低电压化学气相沉积中的多晶硅制取工艺中；
半导体材料离子注入工艺。在许多生产制造工艺中通常使用或转化成腐蚀汽体和碾磨微粒；
除半导体材料工艺外的一些造成微粒的工艺，不期待微粒渗入油阀中，而期待微粒排出来泵外，则用一定形式的干试机械设备真空泵可以符合要求；
在化工、医药业、食品产业中的水蒸气蒸馏、干躁、除泡、包裝等，要避免有机溶液导致环境污染，合适用干试真空泵；
爱发科真空泵油用作一般无油清理超滤装置的前面泵，以避免油环境污染。
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