真空泵在使用过程中,主要是通过物理、机械、物理化学方法对被抽容器进行有效排气,以获得真空的装置或设备。一般来说,真空泵是在一个封闭的空间内,利用各种方法提高、产生和维持真空的装置。真空泵在工作过程中可以有效分为两种,即气体捕获泵和气体传输泵。广泛应用于冶金、化工、食品、电子涂料等行业。
真空泵在发展的过程中,它的抽气速度基本是从每秒零点几升到每秒几十万、上百万升。随着真空技术在生产和科研领域对其应用压力范围的要求越来越高,大多需要几个真空泵级真空抽气系统一起抽气才能满足生产和科研的要求。由于真空应用部门涉及的工作压力范围很广,任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,所以只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求使用不同类型的真空泵。
真空泵在一定程度上,为了使用方便,满足各种真空工艺的需要,各种真空泵有时会根据其性能要求进行组合,以单元的形式应用。常用的真空泵泵有干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。这些泵是我国国民经济各行业应用真空技术必不可少的主泵。